• <rp id="gilno"></rp>

    <menuitem id="gilno"><video id="gilno"></video></menuitem>
    <ins id="gilno"><option id="gilno"></option></ins>

    <tr id="gilno"><nobr id="gilno"><ol id="gilno"></ol></nobr></tr>

      <menuitem id="gilno"></menuitem>
      <menuitem id="gilno"></menuitem>
      公司新闻 当前位置: 主页 > 新闻中心 > 公司新闻

        SCI-552是臭氧输送系统的控制器

        来源:www.pqmxh.com 作者:同林臭氧 时间:2022-12-27 09:47

        SCI-552是臭氧输送系统的控制器


        SCI-552是臭氧输送系统的控制器,能够为很多系统部件提供电气控制界面,包括:臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI 452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。

        SCI-552基于软硬件特点,提供了很多系统联锁功能,它灵活性高,允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。

        image.png

        SCI-552型臭氧发生器控制器参数

        显示:2 行 x 40 字母、数字,真空荧光

        分辨率:0.01% w/w

        周期 :不间断测量,每2秒或0.5 Hz刷新

        数字I/O :RS-232 C, 双向

        装置I/O:发生器支持 能够支持两台臭氧发生器,工业标准 引出线

        质量流量计控制: 4 - DB-9 连接体,支持四台质量流量 计

        背压控制器:2 - DB-15 连接体,支持两台电子背 压调节器

        臭氧发生器:2 - 10 针IDC,支持两台臭氧发生器

        EV阀:2 - 2 针连接体 - 24 VDC

        冷却器:1 - DB-15 冷却器连接体


        客户系统I/O联锁:1- 系统硬件联锁

                                      1 - 通讯联锁

                                      (可用户配置)

                                     1 - 软件联锁 (背压)

        串行数字 :RE-232, DB-25 (Modbus标准 -可选其他选项)

        AC电源:90到240VAC, 50/60 Hz

        典型功率: 低于225 W 

        尺寸 :(宽 x 高 x 长) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

        重量:10.9 磅 (4.94 千克)

        环境:只为室内应用而设计

        运行温度: 5 - 35?C

        相对湿度:80%, 无冷凝

        保修 :1 年

        认证:CE


        应用

         化学气相沉积(CVD)

        原子层沉积(ALD)

        氧化物生长

        表面处理

        灰化

        粒子清洁

        光刻胶去除

        其他


      ? 在线观看三级片
    1. <rp id="gilno"></rp>

      <menuitem id="gilno"><video id="gilno"></video></menuitem>
      <ins id="gilno"><option id="gilno"></option></ins>

      <tr id="gilno"><nobr id="gilno"><ol id="gilno"></ol></nobr></tr>

        <menuitem id="gilno"></menuitem>
        <menuitem id="gilno"></menuitem>